Crear archivo xml

Dim xml As New XmlDocument
        xml.AppendChild(xml.CreateXmlDeclaration("1.0", "UTF-8", Nothing))
        Dim nodo As XmlNode = xml.CreateElement("DTE")
        nodo.InnerXml = "<Documento>" &
                        "<TipoDTE></TipoDTE>" &
                        "<Folio></Folio>" &
                        "<EstadoSII></EstadoSII>" &
                        "<TrackID></TrackID>" &
                        "</Documento>"
        xml.AppendChild(nodo)
        xml.Save(archivo)

Fuente